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利用3D飛秒激光納米光刻技術(shù)制備晶體納米結(jié)構(gòu)

作者: 來(lái)源: 日期:2019/1/21 21:37:39 人氣:4140

YAG(釔鋁石榴石)晶體中的亞波長(zhǎng)衍射光柵和MOW(微結(jié)構(gòu)光波導(dǎo))。a)在可見(jiàn)光照射下,長(zhǎng)度為厘米級(jí)、間距為700nm光柵的圖像。b)實(shí)驗(yàn)并計(jì)算了波長(zhǎng)為1070nm的亞波長(zhǎng)光柵(間距為700nm)的絕對(duì)衍射效率。計(jì)算公式為衍射功率除以入射到嵌入光柵的功率。Error bars圖對(duì)應(yīng)于~0.07%的實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差。插圖:制作的光柵的掃描電子顯微鏡(SEM)特寫(xiě)圖像。c)六邊形結(jié)構(gòu)的光波導(dǎo),水平孔距500nm,平均孔徑166nmx386nm,長(zhǎng)4mm。d)波長(zhǎng)為1550nm、862nm(垂直)和972nm(水平)的半峰全寬(full-width at half maximum,F(xiàn)WHM)處的模擬強(qiáng)度模式。e)1550nm處測(cè)量的波導(dǎo)輸出模式的衍射受限近場(chǎng)圖像,F(xiàn)WHM約為~1.5m。(圖片來(lái)源:Nature Photonics)

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,材料的光學(xué)特性由其化學(xué)性質(zhì)和固有的亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)決定,盡管后者仍有待深入表征。光子晶體和超材料已經(jīng)證明了這一點(diǎn),它們通過(guò)表面的改變可提供一種全新的超越材料已知自然光學(xué)特性的光操控。然而,在過(guò)去30年的研究中,現(xiàn)有的技術(shù)方法已無(wú)法可靠地在材料表面以外的納米結(jié)構(gòu)硬脆光學(xué)晶體中進(jìn)行深入的光學(xué)表征和相關(guān)應(yīng)用。

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